반도체 클린룸 FFU 헤파필터 교체 — 규격 확정부터 무중단 창구 설계까지

575×1175와 610×1220 — 카탈로그 숫자로 발주하지 마세요

FFU 규격을 물어보면 대부분 “2×4피트”라고 답합니다. 그런데 같은 2×4피트 계열에 서로 다른 실제 치수가 존재합니다. 천장 그리드 모듈 치수를 말하는 것인지, 필터 몸체의 바깥 치수를 말하는 것인지가 섞이기 때문입니다.

발주 기준은 하나뿐입니다. 기존 필터의 바깥 치수를 틀 끝에서 끝까지 실측한 값입니다. 라벨이 남아 있으면 사진 한 장이면 되고, 없으면 자로 재서 알려주시면 됩니다.

두께가 진짜 함정입니다 — 박형과 표준

FFU에 들어가는 헤파는 두께가 66~90mm대인 박형과 150mm대 표준형으로 갈립니다. 가로·세로가 같아도 두께가 다르면 들어가지 않거나, 들어가도 개스킷이 밀착되지 않습니다.

밀착 불량은 등급을 무의미하게 만듭니다. H14를 넣어도 프레임 사이로 여과되지 않은 공기가 새면 그 지점 파티클 수치는 올라갑니다. 두께와 개스킷 위치는 규격표에서 가장 먼저 채워야 할 칸입니다.

• 박형(66~90mm) — 천장 높이 여유가 적은 구역, FFU 일체형 유닛에 흔합니다
• 표준형(150mm 전후) — 여과 면적이 커 같은 풍량에서 차압이 낮고 수명이 깁니다
• 개스킷이 어느 면에 붙어 있는지도 함께 확인 — 급기면·배기면 방향이 정해져 있습니다
• 라벨이 남아 있으면 사진 한 장으로 두께·등급·개스킷 사양을 한 번에 판독할 수 있습니다

무중단 교체 창구를 설계하는 법

라인을 세울 수 없으니 교체는 정해진 창구 시간 안에서 구역을 나눠 진행합니다. 자재 쪽에서 준비해야 할 것은 단순합니다. 창구가 열리기 전에 전량이 현장에 들어와 검수까지 끝나 있어야 합니다.

• 구역별 규격표를 먼저 확정 — 규격이 섞인 팹은 이 작업이 전체 일정의 절반입니다
• 제작 기간 3~7일을 역산해 발주일을 잡습니다
• 창구 하루 전 입고·검수 — 당일 입고는 문제 발생 시 대안이 없습니다
• 예비분을 창구 물량의 5~10% 정도 함께 반입 — 개봉 시 손상분 대체용입니다
• 교체 순서는 급기 상류 구역부터 — 하류부터 갈면 상류 오염이 새 필터로 넘어옵니다
• 교체 후 파티클 측정과 성능 검증은 검증 전문 업체나 설비 제조사가 수행합니다

파티클 카운트가 올랐을 때 점검 순서

수치가 오르면 바로 필터를 발주하기보다 원인을 좁히는 편이 빠릅니다. 필터 수명이 아닌 경우도 흔합니다.

• 측정 지점이 특정 구역에 몰려 있는지 확인 — 국소적이면 밀착·누설 쪽입니다
• 해당 FFU 프레임 네 변의 개스킷 밀착 상태 육안 확인
• FFU 풍속 확인 — 전반적으로 떨어졌다면 필터 포화 또는 팬 문제
• 전단 공조기(AHU)의 프리·미듐 차압 확인 — 여기가 막히면 헤파 부하가 급격히 커집니다
• 최근 작업 이력 확인 — 천장 작업, 배관 공사 후 며칠간 수치가 오르는 경우가 많습니다
• 위를 다 확인하고도 원인이 없으면 헤파 수명으로 보고 교체를 검토합니다

대량·정기 교체는 규격표가 자산입니다

한 번 정리한 구역별 규격표는 다음 교체 때 그대로 씁니다. 규격·두께·등급·수량이 정리되어 있으면 발주는 메시지 한 통으로 끝납니다.

수량이 모이면 단가 조정 폭도 커집니다. 연간 소요량 기준으로 규격별 단가를 정해두고, 교체 시기마다 저희가 먼저 연락드리는 방식이 결품 없이 운영하기 가장 쉬운 구조입니다.